蔡司三坐标形位公差是指零件上的点、线、面要素的实际形状和位置与理想形状和位置的允许变动量。它包括形状公差和位置公差，其中形状公差限定单个要素与几何意义的理想形状之间的偏差，而位置公差则限定两个或多个要素之间相互位置的偏差。
蔡司三坐标形位公差的测量方法主要依赖于高精度的三坐标测量机。通过将被测零件放置在测量机的工作台上，使用探针或激光扫描器等工具，按照预设的测量程序，对零件的各个要素进行精确的测量。测量数据会被自动记录并处理，通过与理想形状和位置的对比，计算出形位公差的具体数值。
在测量过程中，需要特别注意选择合适的测量工具、设置正确的测量参数、确保测量环境的稳定性等，以获得准确的测量结果。此外，还需要对测量结果进行分析和评估，根据实际需求进行相应的调整和优化，以满足产品设计和制造的要求。