国际公认的电子化学品标准大致可分为四类:
一类是基于semi的美国试剂标准;是基于德国e.merck标准的欧洲试剂标准;一是以关东和和和子的湿电子化学品为代表的日本试剂标准;另是以rea为代表的俄罗斯试剂标准。
ULSI在世界范围内的快速发展使这些标准的指标逐渐接近,但在进入21世纪之前,半标准已在世界范围内得到广泛认可,国际标准化半组织根据世界电子化学品的实际发展情况,合并了原有的分类体系。
它根据品种对其进行分类,并将每个品种合并为一个指导标准,包括不同工艺和技术的多个等级。对应不同技术水平的集成电路,对电子化学品的标准要求越高,对纯度和清洁度的要求就越高。
如果电子化学品分级或分级,则用于≥1.2μM为低档产品(需半C1级湿电子化学品),0.8~1.2μM为中低档产品(需半C7级电子化学品),0.2~0.6μM为中高端产品(需半C8级电子化学品)。0.09~0.2μM和<;零点零九μM属于高端产品(需要半C12级电子化学品),其中≥1.2μM和0.8~1.2μM硅片主要用于制作分立器件;0.2~0.6μM和0.09~0.2μM硅片主要用于大规模集成电路和超大规模集成电路制造