1、首先收集所需的材料：企业的营业执照、税务登记证书、组织机构代码证、法人证明文件和研发费用支出凭证等；

2、进行网上申报，提交资料，录入研发项目名称、费用及费用支出明细，完成流程的申报登记；

3、提交审核，提交申报资料通过审核验收，申报人提交研发费用支出凭证到发票管理机构进行备案；

4、审核并发放研发补助，经审核并通过纳税机关审核后，由发放机构发放补助。